Система автоматизированного контроля Fischer FISCHERSCOPE X-RAY 5400

Fischer FISCHERSCOPE X-RAY 5400 Измерительные приборы FISCHERSCOPE X-RAY серии 5000 представляют собой инновационные энергодисперсионные рентгенофлуоресцентные измерительные системы (EDXRF) для поточных измерений на производственной площадке. Они специально предназначены для непрерывного неразрушающего анализа и измерений тонкослойных и многослойных систем производственных линий. Специальная конструкция повышенной прочности удовлетворяет самым суровым требованиям производственной среды с учетом непрерывной эксплуатации.

Приборы FISCHERSCOPE X-RAY 5000 представляют собой простые в установке надежные измерительные головки.

Для быстрой интеграции в производственные линии приборы серии X-RAY 5000 оснащаются стандартным монтажным фланцем. Существует два варианта исполнения:

• 5100 для измерений в атмосфере
• 5400 для измерений в вакууме и на очень горячих подложках с температурой поверхности до 400 °C (752 °F)

Для измерений в вакууме измерительный прибор оборудован специальным уплотнительным фланцем, который предотвращает утечки вакуума.

Весь процесс работы и оценки результатов измерений, а также четкое представление результатов выполняется на ПК с помощью мощного и удобного в использовании программного обеспечения WinFTM®. Кроме того, для некоторых измерительных приложений программное обеспечение WinFTM® дает возможность вносить поправку на изменение расстояния между измерительной головкой и образцом до нескольких миллиметров.

Различные интерфейсы данных позволяют легко встраивать все измерительные приборы серии X-RAY 5000 в промышленные системы управления технологическим процессом.

Все измерительные системы X-RAY 5000 отвечают требованиям стандартов DIN ISO 3497 и ASTM B 568.

Характеристики:

• Целевое назначение: Энергодисперсионная рентгенофлуоресцентная измерительная система (EDXRF) для непрерывного анализа и измерения толщины покрытий и многослойных систем в процессе производства.
• Диапазон элементов
  • От натрия Na (11) до урана U (92) при измерениях в вакууме
  • От алюминия Al (13) до урана U (92), при измерениях в атмосфере
• Калибровка:  Быстрая и простая, по эталонному стандарту непосредственно в процессе производства
• Удаленное управление: Через программные задачи или различные интерфейсы данных
• Интерфейс данных: RS232, командные файлы, автоматизация OLE, TCP/IP, PROFIBUS и PROFINET через OPC, главным образом, с помощью SIMATIC типа SPS; остальные по запросу

Рентгеновский излучатель

• Рентгеновская трубка: Микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном; остальные трубки по запросу
• Высокое напряжение: Трехступенчатое: 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ
• Апертура (коллиматор): Фиксированная, в зависимости от конкретного измерительного приложения

Обнаружение рентгеновских лучей

• Детектор рентгеновских лучей: Дрейфовый кремниевый детектор с охлаждением посредством эффекта Пельтье (SDD)
• Разрешение ПШПВ для Mn-Ka: ≤ 140 эВ
• Процессор сигналов: Цифровой  импульсный процессор
• Компенсация расстояния: ±3 мм при измерениях на стеклянной подложке, со специальным приложением для стеклянной подложки толщиной до ±5 мм
• Измеряемое расстояние: 60 - 100 мм; остальные по запросу

Электрические характеристики

• Источник питания: От 100 В переменного тока до 240 В переменного тока,  50 / 60 Гц,  
• Предохранитель G 5 x 20 мм T 2A
• Потребляемая мощность: 120 ВА, без учета ПК
• Класс защиты: IP50

Окружающие условия

• Среда для измерений: Вакуум
• Максимальная температура поверхности образца: < 400 °C
• Охлаждение: Водяное охлаждение, например, водой с температурой 20 °C , давлением 5 - 9 бар, расходом 6 л/мин
• Рабочая температура: 0 °C - 40 °C  вокруг корпуса
• Температура хранения: 0 °C - 50 °C
• Допустимая влажность воздуха: ≤ 95%, без образования конденсата

Размеры

• Масса: 47 кг
• Наружные размеры Ш х Д x В: 236 x 350 x 370 мм